VCR金屬墊片式過濾器OEM制造商

金屬墊片式過濾器全金屬材質、專為半導體氣體分配系統設計、兼容1/4”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環境下、能有效阻隔微粒侵襲、守護敏感氣體組件、延長設備壽命、預防因微粒污染導致的泄露風險。可選擇低壓型或高壓型、也可在現有配管上安裝、為精密設備提供經濟高效的防污屏障。

產品特點

1、整體316L不銹鋼結構

3、可以作為表面密封的過濾器，所以不需要能外的工作(切割/接管道用于過濾安裝)

3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

4、能有效阻隔微粒侵襲，守護敏感氣體組件

5、定制化服務:支持特定尺寸、規格和特殊氣體工況的需求

無論您需適配半導體氣體分配系統，為 MFC 模塊 / 精密閥門找防微粒屏障，還是升級現有配管防污方案 —— 我們隨時等候咨詢！

您可電話或微信直連技術顧問，1 對 1 獲取產品推薦與支持。我們的金屬墊片式過濾器，全金屬材質、兼容 1/4”/3/8”/1/2”VCR 接口，墊片式便捷安裝，400℃高溫下阻微粒，還可選低壓 / 高壓型，滿足多樣需求。?

依托 316L 不銹鋼結構、耐溫耐壓耐腐特性及定制服務，我們已服務多領域，更以透明價格、及時售后保障采購無憂。我們不止是供應商，更愿做您信賴的伙伴，共護設備穩定運行!

產品類型

1、適用于高壓系統的管路

最大正向壓差：

1/2”：2.9Mpa.

1/4”：10.4Mpa

流量范圍：0~300slpm

2、適用于低壓的系統管路（VCR過濾墊片）

最大使用壓力：0.98Mpa

流量范圍：0~100slpm

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您的VCR過濾墊片可能會用到以下地方：

1、半導體制造設備:光刻機、化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沅積(PVD)等設備的高純氣體管路連接

2、氣體控制面板(IGS):用于高純氣體管路中的顆粒過濾和密封

3、醫療設備:氣體輸送系統中的過濾與密封

4、工業氣體輸送系統:確保高純度氣體在連接點處的潔凈和密封

5、實驗室設備:氣相色譜儀、質譜儀等對氣體純度有嚴格要求的設備

半導體、LED、光伏及MEMS設備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜。

按定制化需求分類?

1. 標準規格系列?

特點：默認 1/4”、3/8”、1/2”VCR 接口，316L 不銹鋼材質，常規過濾精度，現貨供應?

優勢：交付周期短，無需額外設計，滿足通用場景需求?

2. 定制化系列?

定制范圍：?

尺寸定制：非標準接口尺寸(如特殊英寸 / 毫米規格)?

規格定制：特殊過濾精度(亞微米級定制)、耐高溫升級(超 400℃場景)?

工況定制：針對強腐蝕性氣體、易燃易爆氣體的材質優化(如特殊合金材質)?

適用場景：非標準設備接口、極端工況(高腐蝕 / 超高溫 / 易燃易爆氣體)、特殊工藝需求?

優勢：完全匹配客戶專屬設備與工況，解決非標場景痛點?。

常見問答

問：這款過濾器能適配我們現有的半導體氣體分配系統嗎??

答：可以。過濾器專為半導體氣體分配系統設計，兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 標準墊圈接口，且支持在現有配管上直接安裝，無需改造管路，可無縫對接您的系統。?

問：安裝時需要切割或焊接管道嗎?會不會影響系統潔凈度??

答：無需切割或焊接。過濾器采用墊片式表面密封設計，直接通過 VCR 接口連接，減少現場施工步驟，避免施工過程中產生的雜質污染高純氣體系統，保障潔凈度。?

問：我們的工藝溫度達到 380℃，這款過濾器能穩定工作嗎??

答：可以。過濾器耐高溫達 400℃，且整體采用 316L 不銹鋼結構，在 380℃的工藝溫度下能保持穩定過濾性能，不會因高溫導致材質變形或密封失效。?

問：針對強腐蝕性的特種氣體，過濾器的材質能耐受嗎??

答：可以。過濾器本身具備耐腐蝕特性，同時支持定制化服務，可針對強腐蝕性氣體優化材質(如特殊合金)，確保在腐蝕性工況下長期穩定使用，您可告知具體氣體類型，我們將提供適配方案。?

問：過濾器的過濾精度是多少?能滿足半導體行業的微粒控制要求嗎??

答：過濾器可精準阻隔微米級及亞微米級微粒(具體精度可根據需求定制)，能有效避免微粒污染 MFC、精密閥門等組件，完全契合半導體行業對高純氣體輸送的微?？刂茦藴?，保障工藝穩定性。?

問：如果我們需要非標準尺寸的過濾器，能定制嗎?周期大概多久??

答：可以定制。我們支持特定尺寸、規格及特殊工況的定制服務，定制周期需根據您的具體需求(如尺寸復雜度、材質要求)確定，一般常規定制款 7-15 個工作日，特殊復雜定制可與技術顧問溝通確認。

我們的 VCR 金屬墊片式過濾器，作為專為高純工藝場景設計的過濾組件，能有效降低關鍵工藝氣流中的顆粒物與雜質含量，為半導體氣體分配、IGS 氣體控制等系統筑牢潔凈防線!?

無論是守護 MFC 模塊、精密閥門免受微粒侵襲，還是為光刻機、CVD/PVD 設備的高純管路減少雜質干擾，它都能憑借全金屬結構、400℃耐高溫特性及 1/4”/3/8”/1/2”VCR 標準接口適配性，無縫融入您的現有系統 —— 墊片式安裝無需額外改管，低壓 / 高壓型可選適配多樣工況，更支持定制化方案應對特殊氣體需求。?

歡迎聯系我們的工程師，為您 1 對 1 分析工況、優化過濾方案，通過減少雜質導致的系統缺陷，助力您實現最佳的現場應用效果，保障工藝穩定與設備長效運行!?